Plasma Power Supply

1) HV Direct Switching Pulse Power Supply : PDS4000

Sample waveform


Feature for Waveform of PDS 4000
-slew rate (fast rising) 10kV/us
-No over & no under shooting
-min pulse width 1us (FWHM)

 

 

Specification for PDS4000
– Output Voltage : 0 to 3kV 2ch unipolar mode
– Output Power : 250W
– Output Current : 100 mA rms(peak 5A)
– Frq. : 20 ~ 80kHz
– Duty : 0 ~ 47%
– Minimum on time : 1us(FWHM)
– Input Power : 220V AC
– case : 3U single

 

 

2) High Power Square Inverter System : HPI500

 

HPI Series는 Output Transformer 방식의 가변형 펄스전원장치로서 넓은 범위의 주파수와 펄스폭을 갖는 고전압 고출력 구형파(square wave)를 발생시키는 연구용 전원장치입니다. 다양한 기능, 간편한 조작, 최고의 안정성 등 최적 방전 조건 및 특성을 최단 시간에 찾을 수 있는 고품질의 장비입니다 . 구동 주파수와 펄스폭은 각각 20 kHz~80 kHz와 45% 범위 내에서 손쉽게 연속가변이 가능하며 동작 중에도 가변 할 수 있고 출력 단락시 시스템의 안정을 위한 4중 과부하방지회로를 장착하여 불시의 실험 사고를 미연에 방지할 수 있습니다.

Specification
– Input Voltage : AC 220 V
– Output Voltage : ± 3 kV (Bipolar Square Pulse)
– Frequency : 20 kHz ~ 80 kHz (range adjustable)
– max 500 W
– Output on/off Control
– Safety : Current Limiting Circuit & Warning Signal

 

 

FEATURE
± 3 kV Square Pulse / Bipolar Type
Easy Frequency and Duty Control
up to 80 kHz
Output on/off Control

APPLICATION
EEFL / DBD
Discharge Lamp
Corona Discharge
ATM Plasma

 

Other merits of  HPI series ?
-Trigger Signal : +5V trigger signal synchronized Y output. It will be used for a triggering source when you use an oscilloscope or other measurement system.
-Slow Charger & fast discharger : The transient over current by system On/Off can be protected. It will be helpful for safety and longer life time of HPI-500.
-Over load alarm
-Output On/Off control at a pre-set voltage

 

3) Electrostatic Chuck Power Supply(BPS-A20)
– 진공 챔버 내에서 사용 가능한 Mobile ESC System
– SDC 및 LGD 55” OLED panel 양산라인에 적용, 현재 운용 중

 

4) ATM Plasma Torch Controller, APC Series
 

 

 

5) 4KW UV lamp용 전자식 Inverter
산업용 Inkjet printer에 사용되는 4kW급 UV lamp용 inverter 개발함
출력 모니터링 및 다단계 설정 기능
효율 95% 달성

          

 

6) Automobile Plasma inverter 개발
-기존 플라즈마 버너용 인버터를 개선 발전시킴
-방전 효율 100%증가 , 방사 노이즈 50%감소
-출력 상태 모니터링 가능

– Plasma Burner 란?
휘발유나 경유등의 연료를 태우는 버너에 플라즈마 발생을 첨가하여 물리/화학적 작용을 극대화한 장치. 주로 경유 자동차의 매연발생 억제장치에 사용된다.

 

7) Fast ignition exciter
– Capacitor bank 를 이용 하여 에너지 증강
– Ignition 시 sub-LC 공진 이용
– 일반 자동차용 이그나이터와는 달리 이그니션 파워가 강력함

Ignition exciter 란?
일반적인 점화장치인 igniter 와는 달리 점화 이후에 plasma 채널을 강화시키도록 공진회로와 capacitor bank 가 설치된 장치로 일회 방전 시 수십~수백A의 높은 전류가 수십us동안 흐른다.

 

8) 무전극 Plasma Lamp 전기적 특성검사 시스템 – LG전자연구소(우면산) 의뢰
-무전극 램프의 방전 전압을 측정하여 불량 검사에 활용 고전압 square pulse를 전압 증가 방식으로 인가하고 점등여부를 광센서로 측정하여 점등 시 전압을 얻는다.

무전극 램프 ?

일반적으로 형광등이나 할로겐램프등과 달리 내부에 전극이 없고 불활성 가스와 미량의 금속화합물만이 석영벌브에 주입되어있는 램프를 말한다.  점등 및 구동은 램프 외부에 코일을 감아서 전자기 유도방식으로 이루어진다. 수명이 길고 고휘도를 낼 수 있어서 차세대 광원으로 각광받고 있다.

 

 

9) CNT X-ray Tube Controller, CTS1000

CTS1000 : CNT X-ray Tube controller
그리드 포텐셜에 임의파형인가 방식으로 시간에 따른 전류변화 검출
이에 따라 종속되는 인출 전자빔 전류를 정밀 검출
전자빔 전류의 안정화를 꾀하는 negative feedback system 을 탑재
CNT tube 內의 전자빔을 최적조건으로 안정적 control

 


CNT X-ray tube란?
음극(cathode) 으로 CNT 를 사용하여 열 필라멘트 없이 grid와 사이에 전계방출(field emission) 을 일으켜 전자빔을 생성하는 독특한 구조로 되어있는 X-ray Source 이다.

 

 

10) CNT X-ray flat panel용 구동장치 개발 : 삼성종기원 

XPDS1.0 : CNT로 제작된 X-ray 평면 패널 구동에 특화된 구동시스템
– multi grid control feedback sequence
– cathode current control
– negative scan feedback


11) Spark Gap Switch 30kV Pulse Power System, PPS30K : 한국기초과학지원연구원

PPS30K는 FTLAB의 고출력 고전압 펄스 생성 기술을 바탕으로 제작되어진 다목적 펄스 플라스마 발생 시스템 이다
– 최대 정격 은 30KV, 1KW, 펄스 주파수는 최대 100Hz
– Capacitor bank는 30nF으로 최대 저장 에너지는 13.5J
– 내구성이 강한 spark gap sw 를 적용하였고 페라이트 코어 방식의 output pulse transformer 를 갖추고 있다.
– 필요 시 DC 동작 및 펄스 트랜스 없이 direct 출력 방식으로 전환이 가능하다.

 

SPECIFICATION

1. Input parts
– AC 220V, single mode
– max current 10A
– N2 gas (+0.3kg/cm2 above 1atm)

2. output part
2-1. Voltage output
– input part for switching : 0V ~ 400V , 2.5A max
– HV Part : 0V ~ +30kv , 33mA max

2-2. Trigger control
– Manual : one time for push button
– Auto : repetition for setting frequency(1~100Hz)
– Ext : external input 5V TTL level, rising edge trigger
– trigger voltage : >20kV, 1ms pulse

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