• Plasma R&D

    Plasma R&D

    – SEM, FIB, 복합기를 위한 통합제어기 개발지식경제부 산업원천기술개발사업 [차세대신기술개발사업]  2006~2009   다중빔 기술을 응용하여 고속, 고안정도의 이온빔 연마 및 밀링 장치 개발– 다중 이온빔 연마 및 밀링 가공 장비 개발 : 지식경제 기술혁신사업[산업원천기술개발사업] 2010-2012 동시조사빔수: 3개이온빔 에너지: 7 keV이온빔 전류: 1 mA (이온건 당)밀링가공최대속도: 100 μm/hr최대 가공깊이 : 1000...

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