Plasma R&D

– SEM, FIB, 복합기를 위한 통합제어기 개발

지식경제부 산업원천기술개발사업 [차세대신기술개발사업]  2006~2009

 

 

다중빔 기술을 응용하여 고속, 고안정도의 이온빔 연마 및 밀링 장치 개발

– 다중 이온빔 연마 및 밀링 가공 장비 개발 : 지식경제 기술혁신사업[산업원천기술개발사업] 2010-2012

 

동시조사빔수: 3개
이온빔 에너지: 7 keV
이온빔 전류: 1 mA (이온건 당)
밀링가공최대속도: 100 μm/hr
최대 가공깊이 : 1000 μm
가공 시뮬레이션 기능
이온빔 개별 구동
4인치 대응 3축 스테이지
다중빔 출력, 각도, 포커싱 제어
연마와 밀링을 동시에 구현
Self Focusing
Focusing on/off
실시간 모니터링 기능

 

 

 

 

 

 

 

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